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- 分體式四軸研磨拋光機 提供多種規格拋光研磨盤,可用于各種光學玻璃、石英、晶體等脆性材料的平面、球面的研磨和拋光
- 機器人研拋一體機 基于工業機器人的小工具加工機床,利用小工具在元件表面高速旋動,實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭,確保拋光過程中材料去除函數穩定可控,從而實現超精密元件表面的高精度加工,配合全鏈路工藝、軟件,實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
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- 離子束拋光機 離子束拋光機是高束流密度、較小的束散角和較大束流均勻度的高能離子束轟擊光學元件表面,實現光學元件高精度加工的拋光設備。高能離子的產生是基于高純度惰性氣體,經過中空陰極,在電源模塊放電作用下產生電離,并將電子束流注入腔體內,電子束流經過電子均勻板將束流均勻分散進入到陽極區域內,電子在陽極的電場和磁場的作用下電力,并在柵網的電場作用下引出離子束流,通過系統控制,實現均勻、穩定的光學元件表面去除。
- 4吋激光干涉儀 激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌,測量精度高達 0.06um 甚至更高,廣泛用于平面光學元件高精度檢測
- 大口徑波長移相激光干涉儀 激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌,測量精度高達 0.06um 甚至更高,廣泛用于平面光學元件高精度檢測